截止2024年1月2日，個股表現(xiàn)方面，光刻機(膠)概念上市公司當(dāng)日領(lǐng)跌股為芯碁微裝(688630)，該股當(dāng)日報收80.89，上漲-5.25%，成交量1.37萬。芯源微(688037)以下跌-4.33%緊隨其后，該股當(dāng)日成交量2.79萬。此外，華懋科技(603306)、雅克科技(002409)、飛凱材料(300398)均進入當(dāng)日光刻機(膠)概念上市公司熊股之列。

　　市值來看，截止2024年1月2日，光刻機(膠)概念上市公司中華軟科技、華懋科技、飛凱材料、艾森股份等6家市值位于不足100億之列；雅克科技、芯源微、芯碁微裝等3家市值位于100億到500億之列。